真空科學與技術(shù)學報是核心期刊，被CSCD核心期刊、北大核心期刊、統(tǒng)計源期刊數(shù)據(jù)庫收錄。

《真空科學與技術(shù)學報》（月刊）創(chuàng)刊于1981年，由中國真空學會主辦。本刊是全國中文核心期刊，長期被EI、CA、SA等國際蓍名檢索系統(tǒng)收錄，已全文上網(wǎng)。本刊通過中國圖書貿(mào)易總公司代理向國外發(fā)行。目前在美國、英國、德國、荷蘭及我國的香港與臺灣地區(qū)均有訂閱，有一定的影響力。在國內(nèi)各高等院校科學院所涉及到真空科學與技術(shù)論文都大多數(shù)向本刊投稿，已成為國內(nèi)外關(guān)學者發(fā)表高水平科研成果的主要載體。

《真空科學與技術(shù)學報》主要刊登真空技術(shù)、表面與界面物理與化學、表面分析、電子材料、薄膜物理與工藝、真空冶金、等離子體科學與工藝等。主要欄目有：學術(shù)論文、綜述評論、技術(shù)交流、工業(yè)技術(shù)、科研動態(tài)與學術(shù)活動、快報等。